탁월한 안전성
실온 작동
유해 가스를 안정된 염으로 전환
TLV 아래 배출 농도:
AsH₃ < 0.05 ppm, PH₃ < 0.3 ppm, SiH₄ < 5 ppm
패시브 방식 작동 원리로 기반 시설을 이용하지 않음(전기, 연료, 물)