イオン注入
副産物の AsH3、PH3、BF3 をイオン源ポンプの前または後で、環境を変えずに除去。スタンドアロンの CLEANSORB CS015SA 乾式スクラバーによって、インプラのハウジング内で直接除去します。
イオン源と、5 つのイオンインプラのターゲットチャンバー排気を、1 台の CLEANSORB BX High-Flow システムに結合。 送風器と電気化学ガスセンサーも統合されています。
カラムの平均的な吸着寿命：: 2 年
カラムの平均的な吸着寿命：: 2 年
特長と利点
有毒廃棄物の作業員による処理が不要
有害ガスを安定塩に室温で変換
負圧操作に適した構成
許容濃度以下の排出濃度：
Cl2 < 0.3 ppm、BCl3 < 1 ppm、CF3 < 3 ppm（HF）
電気、燃料、水を消費しない受動動作
有害ガスを安定塩に室温で変換
負圧操作に適した構成
許容濃度以下の排出濃度：
Cl2 < 0.3 ppm、BCl3 < 1 ppm、CF3 < 3 ppm（HF）
電気、燃料、水を消費しない受動動作