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Metall ätzen
Zwei an das System CLEANSORB SC angeschlossene Kammern.

Das Abgas aus der Metallätze enthält eine hohe Aluminiumchlorid-Feststoffkonzentration. CLEANSORB-Säulen für diese Applikation enthalten normalerweise ein spezielles Labyrinth zur Abscheidung kondensierbarer Substanzen am Eingang. Während der gesamten Säulenlebensdauer entsteht kein Pumpengegendruck.
Metal Etch
Merkmale und Vorzüge
Unübertroffene Sicherheit
Betrieb bei Raumtemperatur
Kein Druckabfall während der Lebensdauer der Säule
Integrierte Einlaßheizung und elektrochemischer Gassensor
Umwandlung gefährlicher Gase in stabile Salze
Trockenabsorption auf Konzentrationen unter TLV:
Cl2 < 1 ppm, BCl3 < 1 ppm, CF4 < 3 ppm (HF)
Passive Arbeitsweise eliminiert Medienverbrauch (Elektrizität, Brennstoff, Wasser)