2개의 챔버가 CLEANSORB SC 시스템에 연결됩니다.
금속 식각기의 폐기 가스에는 높은 수준의 알루미늄 염화 화합물 고체가 포함되어 있습니다. 이 응용 분야의 CLEANSORB 컬럼은 보통 유입구에서 응축물을 제거하기 위해 특수하게 설계된 미로가 장착되어 있습니다. 전체 컬럼 수명 주기 동안 펌프에 역압이 없습니다.
금속 식각
특징 및 이점
탁월한 안전성
실온 작동
컬럼 수명 시간 동안 압력 저하 없음
통합 유입 열 및 전자화학 가스 센서
유해 가스를 안정된 염으로 전환
TLV 농도 이하로 건식 스크러빙:
Cl2 < 1 ppm, BCl3 < 1 ppm, CF4 < 3 ppm(HF)
패시브 방식 작동 원리로 기반 시설을 이용하지 않음(전기, 연료, 물)
실온 작동
컬럼 수명 시간 동안 압력 저하 없음
통합 유입 열 및 전자화학 가스 센서
유해 가스를 안정된 염으로 전환
TLV 농도 이하로 건식 스크러빙:
Cl2 < 1 ppm, BCl3 < 1 ppm, CF4 < 3 ppm(HF)
패시브 방식 작동 원리로 기반 시설을 이용하지 않음(전기, 연료, 물)