MOVPE 是目前废气管理方面所面临的最严峻的挑战。 与用于硅或化合物半导体制造业中的任何其他工艺相比，无论在每分钟范围内 AsH3 和 PH3 的流量（升）、以氢气为主要载气以及排出物中自燃物白磷的大量沉积等各个方面，它都具有无拟可比的优势。

CS CLEAN SYSTEMS 的“CLEANSORB”干床吸收剂产品系列具有多项独特功能，可解决 MOVPE 应用中的一些特殊难题：
所有的气体接触均在排出空气的柜室中进行
所有管道均采用不锈钢材质制造
停电时系统仍可运行
终点气体检测器
红外线温度监测器
吸收剂桶可还原氧化（钝化）
旁路迷你吸收剂
自动旁通阀
过热时强制执行 N2 桶冷却
不受加工工艺影响的入口/出口阀