窒化 LPCVD 炉
窒化堆積物は、ポンプを著しく劣化させます。 図に示すように、窒化物を含む排気はポンプ到達前に、水冷トラップで除害されます。

特長と利点
卓越した安全性
室温で動作: 有害な窒素酸化物(NOx)の発生なし
BTBAS やその他の MO 前駆体との使用に最適
有害ガスから安定塩への変換
許容濃度以下の排出濃度:
NH3 < 25 ppm
電気、燃料、水を消費しない受動動作
室温で動作: 有害な窒素酸化物(NOx)の発生なし
BTBAS やその他の MO 前駆体との使用に最適
有害ガスから安定塩への変換
許容濃度以下の排出濃度:
NH3 < 25 ppm
電気、燃料、水を消費しない受動動作

