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Oxid/Nitrid ätzen
Abgasreinigungspaket zur Abscheidung von PFCs

Abscheidung von PFCs und HAPs aus Oxidätzprozessen durch den Trockenbettabsorber CLEANSORB kombiniert mit einem Foreline-Plasmasystem PCS PIRANHA
Oxide/Nitride Etch
Merkmale und Vorzüge
Unübertroffene Sicherheit
Beseitigung der zur Erderwärmung beitragenden Treibhausgase
Chemisorber CLEANSORB mit hoher Kapazität, optimiert für die Fluorchemie
Kein Druckabfall während der Lebensdauer der Säule
Umwandlung gefährlicher Gase in stabile Salze
Austrittskonzentrationen unter TLV:
Zersetzt (>99%) nicht verbrauchte PFC-Gase in reaktive HAP-Nebenprodukte
F2 < 1 ppm, HF < 3 ppm
Passive Arbeitsweise eliminiert Medienverbrauch (Elektrizität, Brennstoff, Wasser)