PFC 제거를 위한 배출 억제 패키지

산화물 식각 공정에서 CLEANSORB 건식 베드 흡수제를 “PCS PIRANHA” 프리 펌프 플라즈마 변환 시스템과 결합하여 PFC 및 HAP의 제거.

탁월한 안전성
글로벌 온실 가스 제거
고용량 CLEANSORB 화학 흡수제, 불소 화학물에 최적화됨
컬럼 수명 시간 동안 압력 저하 없음
유해 가스를 안정된 염으로 전환
TLV 아래 배출 농도:
미사용 PFC를 반응성 HAP 부산물로 분리(>99%)
F₂ < 1 ppm, HF < 3 ppm
패시브 방식 작동 원리로 기반 시설을 이용하지 않음(전기, 연료, 물)