Набор для нейтрализации перфторированных соединений

Нейтрализация перфторированных соединений и загрязнителей атмосферы, образующихся в процессе травления оксидов, с помощью сухого поглотителя CLEANSORB, объединенного с системой плазменного преобразования PCS PIRANHA для включения перед насосом.

Непревзойденная безопасность
Нейтрализация газов, вызывающих глобальное потепление из-за парникового эффекта
Химический поглотитель CLEANSORB высокой емкости, оптимизированный для химии соединений фтора
Никакого перепада давления в течение срока службы модуля
Преобразование вредных газов в стабильные соли
Выходные концентрации ниже ПДК:
Диссоциация (>99%) неиспользованных перфторированных соединений на побочные продукты реакции, загрязняющие атмосферу.
F₂ < 1 части на миллион, HF < 3 частей на миллион
Пассивный режим функционирования принципиально исключает потребление дополнительных ресурсов (электричества, топлива, воды)