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多晶体蚀刻
CLEANSORB 双桶系统可钩挂多达四个加工室
功能和好处
没有任何溴化物排出到废水
全球范围内提供吸收剂桶重装填和废物处理服务
溴化物专用的 CLEANSORB 干式清洗介质
在桶的整个使用寿命期间无任何压降现象
将危险气体转化为稳定盐
出口浓度低于 TLV:
Cl2 < 1 ppm, SF6 < 3 ppm (as HF), HBr < 5 ppm
无火焰、无加热、无废水