
Химическое осаждение TiN из паровой фазы

Функциональные возможности и преимущества
Непревзойденная безопасность
Функционирование при комнатной температуре
Преобразование вредных газов в стабильные соли
Выходные концентрации ниже ПДК:
ТДМАТ < 25 частей на миллион (NH3), NH3 < 25 частей на миллион
Пассивный режим функционирования принципиально исключает потребление дополнительных ресурсов (электричества, топлива, воды)
Функционирование при комнатной температуре
Преобразование вредных газов в стабильные соли
Выходные концентрации ниже ПДК:
ТДМАТ < 25 частей на миллион (NH3), NH3 < 25 частей на миллион
Пассивный режим функционирования принципиально исключает потребление дополнительных ресурсов (электричества, топлива, воды)

