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锡 CVD
TiN CVD
功能和好处
无与伦比的安全性
室温操作
将危险气体转化为稳定盐
出口浓度低于 TLV：
TDMAT < 25ppm (NH3), NH3 < 25ppm
被动式操作原理可免除设备消耗（电力、燃料、水）