Составляющие процесса, склонные к гидролизу: химическое осаждение из паровой фазы вольфрама и силицида вольфрама.
Химическое осаждение соединений WSix из паровой фазы обычно считается "тяжелым" процессом. Обычно используемые в нем материалы, например, WF6 и DCS, вызывают серьезные проблемы с засорением при контакте с воздухом или влагой. При использовании поглотителя CLEANSORB в сухих условиях наблюдается нулевой перепад давления.
Химическое осаждение W/WSix из паровой фазы
Функциональные возможности и преимущества
Непревзойденная безопасность
Функционирование при комнатной температуре
Никакого противодавления в технологическом процессе
Никакого засорения, не нуждается в обслуживании
Долгий срок службы модуля
Преобразование вредных газов в стабильные соли
Выходные концентрации ниже ПДК:
WF6 < 3 частей на миллион, SiH4 < 5 частей на миллион, SiH2Cl2 < 5 частей на миллион
Пассивный режим функционирования принципиально исключает потребление дополнительных ресурсов (электричества, топлива, воды)
Функционирование при комнатной температуре
Никакого противодавления в технологическом процессе
Никакого засорения, не нуждается в обслуживании
Долгий срок службы модуля
Преобразование вредных газов в стабильные соли
Выходные концентрации ниже ПДК:
WF6 < 3 частей на миллион, SiH4 < 5 частей на миллион, SiH2Cl2 < 5 частей на миллион
Пассивный режим функционирования принципиально исключает потребление дополнительных ресурсов (электричества, топлива, воды)