对水解敏感的工艺处方： 钨和钨化硅 CVD
WSix CVD 通常被认为是超“重型”应用。 通用材料如 WF6 和 DCS 在与空气/水分接触时，会造成严重阻塞问题。 在干式 CLEANSORB 条件下，应遵守零压增加的规定。
W/WSix CVD
功能和好处
无与伦比的安全性
室温操作
工艺过程中不会产生任何背压
无阻塞，免维护
桶的使用寿命长
将危险气体转化为稳定盐
出口浓度低于 TLV：
WF6 < 3 ppm, SiH4 < 5 ppm, SiH2Cl2 < 5 ppm
被动式操作原理可免除设备消耗（电力、燃料、水）
室温操作
工艺过程中不会产生任何背压
无阻塞，免维护
桶的使用寿命长
将危险气体转化为稳定盐
出口浓度低于 TLV：
WF6 < 3 ppm, SiH4 < 5 ppm, SiH2Cl2 < 5 ppm
被动式操作原理可免除设备消耗（电力、燃料、水）