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배기 가스 배출 억제 제품 문의
배기 가스 배출 억제 제품에 관심이 있으면 가능한 상세하게 전체 양식을 작성하십시오.

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1. 공정 정의
견적을 받으려면 공정 정의를 작성하십시오. 이 정보는 최고 수준의 비밀로 취급됩니다.

프로세스

툴메이커

툴모델

챔버 수

펌프 유형 및 사용된 오일

오일 제거기
yes     no

가스 밸러스트
[l/min]

펌프 배기 장치 내의 총 가스 유량
[l/min]

폐기 가스 압력
[atm]

폐기 가스 온도
[°C]


2. Process chamber definition
정확한 견적을 받으려면 최소한 하나의 공정 챔버를 정의하십시오. 챔버를 정의하려면 "챔버 추가"를 클릭하십시오. 그러면 새로운 양식이 열려 모든 세부 사항을 작성할 수 있습니다.


 

3. 문의서 제출
문의서를 제출하기 전에 모든 관련 데이터가 정확하게 작성되었는지 확인하십시오.