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배기 가스 배출 억제 제품 문의
배기 가스 배출 억제 제품에 관심이 있으면 가능한 상세하게 전체 양식을 작성하십시오.
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1. 공정 정의
견적을 받으려면 공정 정의를 작성하십시오. 이 정보는 최고 수준의 비밀로 취급됩니다.
프로세스
툴메이커
툴모델
챔버 수
펌프 유형 및 사용된 오일
오일 제거기
yes
no
가스 밸러스트
[l/min]
펌프 배기 장치 내의 총 가스 유량
[l/min]
폐기 가스 압력
[atm]
폐기 가스 온도
[°C]
2. Process chamber definition
정확한 견적을 받으려면 최소한 하나의 공정 챔버를 정의하십시오. 챔버를 정의하려면 "
챔버 추가
"를 클릭하십시오. 그러면 새로운 양식이 열려 모든 세부 사항을 작성할 수 있습니다.
3. 문의서 제출
문의서를 제출하기 전에 모든 관련 데이터가 정확하게 작성되었는지 확인하십시오.