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废弃处理产品调查
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1. 工艺定义
要收到报价,请填写“工艺定义”。 此信息将受到绝对保密
工艺
工具制造者
工具模型
加工室编号
已用泵类型和油
除油雾器
yes
no
气镇流器
[l/min]
泵排气中的气流总量
[l/min]
废气气压
[atm]
废气温度
[°C]
2. Process chamber definition
要收到准确的报价,请至少定义一个加工室。 要定义加工室,请单击“
添加加工室
”。 这样,将打开一张新的表格,可填入所有的详细信息。
3. 提交询问
提交询问前,请确保正确填写了所有相关数据。