Reinigung von Prozessabgasen mit Trockenbetttechnologie

Die meisten Prozess-Spezialgase für die Waferverarbeitung, Solarindustrie, sowie in der MEMS Fertigung wirken pyrophor, toxisch oder korrosiv. Sicherheit für das Personal und Umweltschutz sind von höchster Priorität.

Mit dem CLEANSORB-Abgasreinigungssystem entstehen bei Umgebungstemperatur durch chemische Umwandlung (Chemisorption) aus gefährlichen Prozessgasen stabile Salze. Für den Betrieb sind keine externen Ressourcen wie Strom, Wasser, Brennstoffe oder andere Maßnahmen erforderlich. Daher ist das CLEANSORB-System vollständig passiv und befindet sich permanent im Stand-By-Modus, selbst bei einem eventuellen Strom- oder anderweitigen Anlagenausfall.

Den Kunden der CS CLEAN SYSTEMS stehen auf der ganzen Welt Vor-Ort-Dienste für die Reinigung und Wiederbefüllung verbrauchter CLEANSORB-Säulen zur Verfügung. Bei den Säulen handelt es sich um patentierte, UN zugelassene und wiederverwendbare Transport-container.

Um den Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden, stehen viele Größen von CLEANSORB-Modellen zur Auswahl, von kleineren Geräten für universitäre Forschungs-zwecke bis zu permanent betriebenen Geräten für die Waferproduktion.

CLEANSORB Stand Alone Reihe
Point-of-Exhaust-Abgasreinigung
Eine allein stehende Säule ohne Schrank und ohne Überwachungseinheit, die speziell für kleinere F&E-Anwendungen entwickelt wurde.

CLEANSORB LABLINE-Reihe
Point-of-Exhaust-Abgasreinigung für F&E-Anwendungen
Die Miniversion der CLEANSORB-Trockenbettabsorption in einem kompakten Schrank. Die passiv betriebene LABLINE-Einheit ist permanent einsatzbereit und muss nicht vor jedem Experiment eigens hochgefahren werden. Dies macht sie zur idealen Lösung für sporadische F&E-Einsätze. Meist wird eine lange Absorptionslebensdauer erreicht, die häufig mehrere Jahre umfasst.

CLEANSORB BASE LINE Reihe
Point-of-Exhaust-Abgasreinigung
Die BASE LINE Reihe basiert auf geschicktem Design, das die Notwendigkeit der elektronischen Überwachung überflüssig macht. Es wird manuell betrieben und ist als robustes System für kostenkritische Anwendungen gedacht.

CLEANSORB SC-Reihe
Point-of-Exhaust-Abgasreinigung mit Einzelsäule
Das Standardmodell für die Abgasreinigung zu Pilot- und Produktionszwecken. Der Betrieb ist unaufwendig und verlangt kaum Bedienereinweisungen. Minimale Anforderungen an die Umgebung. Praktisch wartungsfrei.

CLEANSORB DC-Reihe
Point-Of-Exhaust-Abgasreinigung mit Doppelsäule
Das Doppelsäulenkonzept ("DC") ermöglicht einen unterbrechungsfreien Betrieb: Eine Säule kann zur Neubefüllung entfernt werden, während die andere im Betrieb verbleibt. Das System hat sich selbst unter anspruchsvollsten Prozessanwendungen nachweislich als 100%ig zuverlässig erwiesen. CS CLEAN SYSTEMS garantiert einen MTBF von mehr als 17.000 Stunden.