새 가스 실린더를 가스 공급 캐비닛에 연결하기 전에 이전 실린더에서 작지만 상당한 양의 남아 있는 공정 가스를 먼저 제거해야 합니다.
잔류 가스는 고농축 독성, 자연 발화성 또는 부식성 가스일 가능성이 높아 유해할 수 있습니다.
CLEANVENT 카트리지는 가스 캐비닛 또는 특수 가스용 공급 패널에 설치하도록 개발되었습니다. 카트리지는 보통 벤츄리 진공 발생기의 위쪽 가스 공급 캐비닛에 직접 장착됩니다.
퍼지 가스는 카트리지의 CLEANSORB 흡수제 베드를 통해 배출되며 유해 가스 농도로부터 정화됩니다. 카트리지 유형은 다양한 범위의 반도체 공정 가스에 사용할 수 있습니다.
