Одно устройство – два применения
Компания CS CLEAN SYSTEMS предлагает передовую систему подачи новых ультрачистых реагентов, специально предназначенную для удовлетворения будущих потребностей в перспективных материалах. Ключевые элементы, которые гарантируют безопасность, надежность и простоту обращения, специально разработаны для ультрачистых жидкостей, независимо от конструкций, унаследованных от систем подачи газа.
Системы подачи TRICHEM (TCD) гарантируют безопасную и полностью автоматическую подачу ультрачистых жидких реагентов в устройства для химического осаждения из паровой фазы или осаждения атомарных слоев. Системы дозирования химических реагентов доступны для заказа с узлами для подключения одного или двух резервуаров. Узлы для подключения TCD оптимизированы для применения резервуаров TRICHEM TCC, но их также можно использовать со всеми собственными типами резервуаров, применяемыми основными поставщиками исходных реагентов.
Систему можно настраивать для конкретного применения:
- Подача при постоянном давлении для прямого впрыска жидкости. Реагенты поступают под давлением в буферный резервуар, откуда подаются на технологическое устройство с высочайшей точностью.
- Автоматический режим прерывистой подачи для пополнения барботажного устройства. В таком режиме могут обслуживаться до 12 встроенных барботажных устройств.
