一种设计，两种应用
CS CLEAN SYSTEMS即将引进一套革命性的全新超高纯度化学品输送系统，此系统乃专为满足未来材料的需求而设计。 确保安全性、可靠性以及易操作性的关键要素专门针对超高纯度液体进行了设计，无需依靠气体输送系统的设计。
TRICHEM输送系统（(TCD)能够确保超高纯精度液体化学品的安全、全自动的CVD或ALD工具供应。 TCD化学品分配系统可作为单个或两个罐柜提供。 TCD 柜专为TRICHEM TCC 罐的使用进行了优化，但仍可使用主要的母液材料供应商所使用的各种类型的罐。
根据不同的应用，系统可以被配置为：
- 恒压供应，用于直接液体注入。 化学品被带压导入缓冲罐中，随即被输送到具有最高精度的工具。
- 用于补充起泡器的自动成批装填模式 可以提供高达12个“板载起泡器”。
